[13p-2T-1~8] 9.4 熱電変換

[13p-2T-7] フォノニック結晶ナノパターニングによる多結晶Si薄膜の熱電変換能の増強

〇野村 政宏^1,2,3、鹿毛 雄太¹、Müller David³、Moser Dominik³、Paul Oliver³ (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.フライブルク大学)

キーワード：フォノニック結晶、フォノニクス

多結晶Siに周期300 nmのフォノニック結晶ナノ構造を形成し、フォノン輸送を阻害することで熱電変換能の増強を行った結果、約３倍の性能向上を得たので報告する。