2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[13p-2W-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 17:30 2W (234-2(北側))

座長:黒澤 昌志(名大),都甲 薫(筑波大)

14:00 〜 14:15

[13p-2W-4] Si(110)基板上SiGe膜の歪み緩和におけるイオン注入の効果

〇加藤 まどか1、村上 太陽2、有元 圭介2、山中 淳二2、中川 清和2、澤野 憲太郎1 (1.都市大、2.山梨大)

キーワード：SiGe/Si(110)