[13p-2W-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[13p-2W-7] 成長温度の最適化によるSi基板上Ge層の結晶性改善

〇小田 克矢¹、奥村 忠嗣¹、加古 敏²、岩本 敏²、荒川 泰彦² (1.日立研開、2.東大生研・先端研)

キーワード：ゲルマニウム、結晶性、フォトルミネッセンス

温度を変えてSi基板上に成長した単結晶Ge層の結晶性と光学特性を評価し、Ge層の結晶性改善を図った。