2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[13p-2W-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 17:30 2W (234-2(北側))

座長:黒澤 昌志(名大),都甲 薫(筑波大)

15:15 〜 15:30

[13p-2W-8] 有機金属化学気相成長法を用いたGe薄膜選択成長

〇鷲津 智也1、犬塚 雄貴1、浅野 孝典1,2、池 進一1,2、竹内 和歌奈1、中塚 理1、財満 鎭明1,3 (1.名古屋大院工、2.学振特別研究員、3.名古屋大エコトピア)

キーワード：ゲルマニウム、有機金属化学気相成長、選択成長