[13p-4C-1~9] Ge-CMOSはどこまで進んでいるのか

[13p-4C-1] どこまでGe-CMOS技術は進んでいるのか - イントロダクション -

〇鳥海 明¹ (1.東大院工)

キーワード：半導体、ゲルマニウム

シンポジウム「どこまでGe-CMOS技術は進んでいるのか」において、 イントロダクションとして、Ge FET技術の現状を紹介するとともに、Ge固有のSiとは異なる興味深い点について紹介したい。