[13p-4E-1~20] 6.5 表面物理・真空

[13p-4E-16] ナノピペットにおける希ガスの真空コンダクタンスの理論計算

菅原 武志¹、〇高見 知秀²、高桑 雄二³ (1.広大クロマチン、2.工学院大、3.東北大多元研)

キーワード：ガラスピペット、真空コンダクタンス、希ガス

我々は、直径が１マイクロメートル未満のガラス製ナノピペットを用いたインジェクションのための要素技術開発のひとつとして、希ガスをナノピペットに通したときの真空コンダクタンスの圧力依存性からナノピペットの内径とシャンク長を非破壊評価するシステムを開発している。本発表では、Sharipovらが行っている動力学的な理論計算法[4]から評価を試みたので報告する。