[13p-4E-1~20] 6.5 表面物理・真空

[13p-4E-6] 加熱・加圧処理によるシリコン表面の突起構造の形成

〇西村 高志¹、富取 正彦² (1.鈴鹿高専、2.北陸先端大)

キーワード：シリコン、溶融加工、加圧処理

本研究では、Siウェハーを局所的に歪ませながら加熱を行い溶融し、Siの対流と膨張を促すことで表面構造の形成を試みた。これまでSiウェハーへの局所応力の印加は、配線など構造体の破壊やウィスカー発生のため、積極的に行われなかった。本研究ではSiの対流を促すために積極的にSi表面へ応力を加えた。