[13p-4F-1~9] 液体シリコンの科学と最新動向

[13p-4F-4] シリコンナノ粒子インク/ペースト材料とデバイス応用

〇池田 吉紀¹、城 尚志^1,2 (1.帝人株式会社、2.ナノグラムコーポレーション)

キーワード：シリコンナノ粒子、シリコンインク

われわれは、シリコンを液体材料として取扱うために、シリコンをナノ粒子化することでインク、ペースト化し、シリコンのインクジェット印刷やスクリーン印刷加工を可能とした。印刷加工したSi NPsは、熱プロセスやレーザー照射を行うことで、Si NPsが焼結し、バルクとしての半導体材料、絶縁材料としての機能発現ができる。本研究では、本材料のプリンタブルエレクトロニクスへの応用例を示す。