[13p-PA2-1~11] 3.2 材料・機器光学

[13p-PA2-2] 非線形時定数操作によるレーザ直接描画法を用いたモスアイ構造作製

〇船越 亮佑¹、江上 力¹ (1.静岡大工)

キーワード：レーザ加工、非線形光学、フォトレジスト

本研究では、安価なCWレーザを用いた非線形時定数操作による直接描画法でモスアイ構造を形成し、その有効性を検討した。フォトレジストの光化学反応時定数を露光強度に依存させ、露光領域を空間的に制限することができる。詳細については当日発表する。