[13p-PA2-1~11] 3.2 材料・機器光学

[13p-PA2-9] コロナ放電により選択的に堆積されるSiO₂の特性

〇酒井 大輔¹、原田 建治¹、原 悠一郎¹、西井 準治² (1.北見工大、2.北大電子研)

キーワード：コロナ放電、ガラス