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[13p-PA4-24] 酸化チタン絶縁膜有機トランジスタを用いた低電圧駆動インバータ回路
キーワード:酸化チタン、インバータ、有機トランジスタ
低電圧駆動有機トランジスタを実現する手法の一つとして、自己組織化単分子膜(SAM)で表面修飾した酸化膜を絶縁膜として用いる研究が注目されている。さらに、酸化膜として高誘電率の酸化チタンを用いることで、1.2 V駆動の有機トランジスタが実現できる。本発表においては、この酸化チタンとSAMを用いた有機トランジスタの作製プロセスを最適化し、0.5 V駆動でゲイン100を持つ擬CMOSインバータの作製に成功したため、報告する。