[13p-PB5-1~9] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[13p-PB5-9] Temperature Dependence of Slot Type Si Ring Optical Resonator Sensors

〇shuhei yokoyama¹, tomoya taniguchi¹, yoshiteru amemiya¹, takeshi ikeda^1,2, akio kuroda^1,2, shin yokoyama¹ (1.Res. Inst. for Nanodevice , Hiroshima Univ, 2.Dept of Molecular Biotechnology, Hiroshima Univ.)

Keywords:Si ring optical resonator,slot type,temperature dependence

我々の研究グループでは光検出を用いたバイオセンサーの研究を行っている。高いSignal/Noise比、電気的Noiseが少ない反面Siは、温度変化に弱いという欠点がある。そこで差動Siリング光共振器センサーを利用することで温度依存性を減少させる試みを行っている。本研究では検出感度向上のため、スロット型リングを利用しようと考えている。そこでスロット型リング光共振器の温度特性を調べるためにサンプルの作製、評価を行った。