[13p-PB6-1~20] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-PB6-12] Nb:TiO₂/Ga:ZnO積層膜の大気および真空アニールの効果

〇杉浦 怜¹、舩木 修平¹、山田 容士¹ (1.島根大総理工)

キーワード：半導体、酸化亜鉛、透明導電性酸化物