[13p-PB6-1~20] 21.1 Joint Session K

[13p-PB6-5] Gas sensing properties of ZnO films

〇Yutaka Adachi¹, Ken Watanabe¹, Noriko Saito¹, Taku Suzuki¹, Isao Sakaguchi¹, Naoki Ohashi¹ (1.NIMS)

Keywords:n-type oxide semicondcutor,polarity

本講演では、より優れた特性を持つZnOガスセンサを開発するために行った基礎的検討の結果（センサ特性とセンサ動作温度やZnOの結晶方位の関係、ドーピングによる影響など）を報告する。