[13p-PB6-1~20] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-PB6-5] 酸化亜鉛薄膜のガスセンサ特性

〇安達 裕¹、渡邊 賢¹、齋藤 紀子¹、鈴木 拓¹、坂口 勲¹、大橋 直樹¹ (1.物材機構)

キーワード：ｎ型酸化物半導体、極性

本講演では、より優れた特性を持つZnOガスセンサを開発するために行った基礎的検討の結果（センサ特性とセンサ動作温度やZnOの結晶方位の関係、ドーピングによる影響など）を報告する。