[13p-PB6-1~20] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-PB6-6] RFスパッタリング法による酸化亜鉛薄膜の電気的伝導メカニズムの検証

〇(D)張 捷生¹、大村 泰久¹、斉藤 正¹ (1.関西大学)

キーワード：ZnO薄膜、XPS測定

本報告では、non-doped ZnOの伝導機構について、XPS分析によるO1sスペクトルの強度の変化から、Zn原子近傍の酸素空孔の増減との関係を考察した結果を述べる。