[14a-1C-1~10] 13.4 Si wafer processing /MEMS/Integration technology

[14a-1C-1] [Young Scientist Presentation Award Speech] Characterization of Piezo-Structure with Polymer and Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Film

〇Takashi Okubo¹, Ryo Sano¹, Maya Shima¹, Kensuke Kanda¹, Takayuki Fujita¹, Kazusuke Maenaka¹ (1.Univ. of Hyogo)

Keywords:PZT,MEMS,Flexible structure

我々は、PZTをSi基板上で成膜加工した後に樹脂材料であるSU-8を構造体として形成し、Siを除去するプロセスを提案し、変形や衝撃に強く丈夫な構造が実現できることを確認した。本研究では、作製した各種構造体に対し、逆圧電効果によって駆動した際の耐久性を含む諸特性を評価した結果について報告する。