2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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[14a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年9月14日(月) 09:00 〜 11:45 1C (135)

座長:佐々木 実(豊田工大),石井 仁(豊橋技科大)

10:30 〜 10:45

[14a-1C-6] 波長選択型SOIダイオード方式非冷却赤外線イメージセンサ

〇藤澤 大介1、小川 新平1、秦 久敏1、植月 満治1、三崎 浩司1、高川 陽輔2、木股 雅章2 (1.三菱電機株式会社、2.立命館大学)

キーワード:赤外線