[14a-1E-1~9] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[14a-1E-1] Effect of interaction between substrate and long-chain polar molecules on initial stage in thin film formation

〇haruki takeda¹, takuma kobayashi¹, kenichi horai¹, ryosuke matsubara¹, atsushi kubono¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:vapor deposition,thin film

有機薄膜デバイスの性能に影響を与える凝集構造の最適化には、基板-有機層界面における薄膜形成初期過程の詳細な検討が必要である。我々はin situ測定が可能な水晶振動子マイクロバランス(QCM)を用いて長鎖有機分子の吸着過程を解析してきた。本研究では基板表面-分子間の相互作用に着目し、末端に極性官能基を有する鎖状極性分子をSAM修飾基板上に蒸着し、官能基同士の相互作用が薄膜形成初期過程に及ぼす影響について検討した。