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[14a-1F-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] プラズマスプレーPVDによるリチウムイオン電池用SiO系ナノ複合負極創製
キーワード:ナノ粒子、リチウムイオン電池負極
SiO粉末のプラズマスプレーPVDにより,SiOナノ粒子の高速製造と共に,CH4添加による還元処理,更に不均化反応による複合構造化を狙い,サイクル特性の改善と高容量化の両立を試みた。基本的にSi/SiOxコアシェル構造を有する複合ナノ粒子形成を確認し,特定のC/Si比でSiOは還元されるがSiCは生成せず,高い初期容量と1000mAh/gを超える容量を維持率99.7%で両立しうることを確認した。