[14a-2H-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14a-2H-2] PLDで成膜したLi₃PO₄固体電解質とLiCoO₂電極界面のイオン伝導特性

〇白木 将¹、鈴木 竜¹、河底 秀幸¹、清水 亮太¹、一杉 太郎¹ (1.東北大AIMR)

キーワード：リチウム電池、薄膜、パルスレーザー堆積法

ArFエキシマレーザーを用いたパルスレーザー堆積法により、固体電解質Li₃PO₄薄膜を作製した。また、全固体薄膜電池を作製し、Li₃PO₄/LiCoO₂界面のイオン伝導特性を評価した。その結果、スパッタ法に比べ、PLD法で成膜した電解質/電極界面では、再現性良く低い界面抵抗（12 Wcm²）が得られ、良好な接合界面が形成されることが分かった。