[14a-2T-1~12] 17.1 成長技術

[14a-2T-6] SIC(000\overline{1})上エピタキシャルグラフェンの超高品質化とBernal積層ドメインの評価

〇田島 圭一郎¹、須藤 亮太¹、吹留 博一¹、末光 眞希¹、堀場 弘司²、組頭 広志²、小嗣 真人³、大河内 拓雄³ (1.東北大通研、2.高エネ研、3.SPring-8 JASRI)

キーワード：グラフェン、SiC