10:00 AM - 10:15 AM
△ [14a-2U-5] Edge investigation of metal-catalyst free CVD grown nanotube forest on SiC substrate
Keywords:carbon nanotube
SiC表面分解法で形成したカーボンナノチューブフォレストを下地として熱CVD成長を行い、成長したCNTの圧力および流量依存性、開端後のCNT端面の活性化温度について報告する。
SiC 表面分解法で30 nm程度のCNTフォレストを形成し、フォレストの終端キャップを酸により開端した。その後、熱CVD法によりCNTを成長させ、ラマン分光測定、SEM/TEMにより評価した。さらに、開端後のCNTフォレストを水素雰囲気下で加熱しXPSにより酸素の脱離温度を調査した。
SiC 表面分解法で30 nm程度のCNTフォレストを形成し、フォレストの終端キャップを酸により開端した。その後、熱CVD法によりCNTを成長させ、ラマン分光測定、SEM/TEMにより評価した。さらに、開端後のCNTフォレストを水素雰囲気下で加熱しXPSにより酸素の脱離温度を調査した。