PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 0 09:45 〜 10:00 [14a-4C-4] High-k/GeNx/Ge構造における界面特性評価 〇田中 佑治1、岩崎 好孝1、上野 智雄1 (1.農工大院工) キーワード:ゲルマニウム、窒化膜