[14a-4D-1~11] 13.7 ナノ構造・量子現象

[14a-4D-1] バイオナノテンプレートと中性粒子ビームを用いたGaAs量子ナノピラーの発光再結合過程

〇大堀 大介¹、近藤 清文¹、トーマス セドリック²、肥後 昭男³、寒川 誠二²、碇 哲雄¹、福山 敦彦¹ (1.宮崎大工、2.東北大流体研、3.東北大WPI-AIMR)

キーワード：中性粒子ビーム、ナノピラー、量子ドット

バイオナノテンプレートと中性粒子ビームを用いた超低損傷トップダウンプロセスを使用することで、従来のトップダウンプロセスでは実現できない高密度かつ20 nm以下の量子ドットが含まれた、ナノピラーを作製することに成功した。PL測定では、1.57〜1.64 eVにかけて複数のピークが観測でき、COMSOLシミュレーション及びTEM観察の結果から、NP中のNDの量子準位の発光であることがわかった。