2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

2015年9月14日(月) 09:00 〜 12:00 4F (438)

座長:比嘉 晃(琉球大)

11:15 〜 11:30

[14a-4F-9] 酸素プラズマ処理によるDLCの表面改質の検討

〇河内 佑太1、小出 拓也1、山口 亮弥1、本間 章彦1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電機大)

キーワード：炭素膜、酸素プラズマ