[14a-PA1-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-PA1-1] 強誘電体厚膜へのプロトン照射効果

〇山口 正樹^1,2、西川 宏之^1,2、増田 陽一郎³ (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)

キーワード：強誘電体、プロトンビーム描画

近年，強誘電体材料の示す圧電特性は，MEMS素子やエネルギーハーベスタとしての応用面から期待されている．そこで我々は，フレキシブルな加工が可能なプロトンビームの利用を提案している．本講演では，PVP添加MOD溶液を用いたディップコート厚膜の形成と，プロトンビーム照射の及ぼす強誘電体厚膜への影響について述べる．