[14a-PA1-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-PA1-3] ゾル‐ゲル法により作製した(Na,K)NbO₃薄膜のEPMA分析

〇田中 清高¹、山崎 陽子¹、玉岡 悟司¹、柿本 健一¹ (1.名工大)

キーワード：強誘電体、ゾル‐ゲル法、ニオブ酸ナトリウムカリウム

我々は，ゾル‐ゲル法により作製したNKN薄膜の微構造と電気特性との関係を以前報告した。特に揮発性の高いNaとKの出発原料の仕込み組成を検討した結果，過剰比の異なるNa/K＝58/52の溶液から単相のNKN薄膜が得られ，誘電率725，誘電損失8.4%と比較的良好な電気特性を示すことも分かった。今回は，EPMAを用いて仕込み組成の異なるNKN薄膜を分析することによって，二次相の分布や過剰溶液の有効性を再検討した。