[14a-PA1-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-PA1-4] Li₂O-B₂O₃系酸化物を添加した(K,Na)NbO₃圧電体薄膜の作製と評価

〇岩田 光範¹、林 幸壱朗¹、坂本 渉¹、飯島 高志²、由比籐 勇³、竹内 輝明³、余語 利信¹ (1.名大エコトピア研、2.産総研つくば、3.早大ナノ理工)

キーワード：強誘電体薄膜、(K,Na)NbO3、化学溶液法

本研究では、薄膜作製法として化学溶液法を採用し、K_0.5Na_0.5NbO₃薄膜の作製を行った。ここでは、結晶化処理後の薄膜の絶縁特性の改善をMnドープにより達成し、さらに低融点組成のLi₂O-B₂O₃化合物を薄膜中に添加して結晶粒径を増大させることによる電気的特性の向上を目指した検討を行った。