[14a-PA1-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-PA1-6] 電界の不均一性が強誘電性高分子の分極反転に与える影響

〇宝田 隼¹、古川 昭雄¹ (1.東理大理工)

キーワード：分極反転、強誘電高分子、圧電応答顕微鏡

圧電応答顕微鏡(PRM)を用いて強誘電薄膜の分極反転をナノスケールに操作する研究が進んでいる．これにより強誘電体メモリの微細化・異方性エッチングによる微細3次元構造形成が期待されている．しかしSPMの針が膜に作る電界は膜面及び膜厚方向に不均一である．この不均一性により，反転の形態・反転領域の広がり方に影響を及ぼす．そこで我々は個の不均一性が強誘電性高分子P(VDF-TrFE)の分極反転に及ぼす影響について解析した．