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[14a-PA3-10] フッ素フリーMOD法によるLaBa2Cu3O7-δ薄膜の結晶化に及ぼす本焼条件の影響
キーワード:超伝導、REBCO、MOD法
LaBCOのTCはバルクにて98 Kを示すことが報告されているが、薄膜化は難しい。本研究ではFF-MOD法を用いて製膜し、本焼温度が結晶化に及ぼす影響を調査した。973、1023、1073、1123、1223 Kの各本焼温度にて急冷試料を作製し、XRDにより各試料の生成相を同定した。973~1123 Kで温度上昇に伴いLaBCOの結晶成長が進行し、特に973~1023 Kでは異相の少ない膜が得られた。また、1223 K以上ではLaBCOが分解することが分かった。