[14a-PA3-1~29] 11 超伝導（Poster）

[14a-PA3-5] 高温超伝導体Bi2212の新しい単独メサ構造作製法の開発

〇柴野 雄紀¹、柏木 隆成¹、北村 健郎¹、渡辺 千春¹、幸 良彦¹、久保 裕之¹、坂本 和輝¹、桂川 拓也¹、榎本 拓真¹、南 英俊¹、門脇 和男¹ (1.筑波大数理物質)

キーワード：超伝導、テラヘルツ、ジョセフソン

我々は高温超伝導体Bi2212を用いたテラヘルツ波発振素子の開発している。本研究の目的はこのテラヘルツ波発振素子の新規構造である単独メサ構造の作製過程を見直し、できるだけ簡略化することにある。そのために化学的手法で加工する方法を用いて、単独メサ構造の作製を試みた。この方法を用いることでイオンビームによるメサ構造側面の破壊を防ぎ、加工時間を大幅に短縮し、加工にかかるコストを抑えることができる。