[14a-PB7-1~14] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials

[14a-PB7-12] Preparation of anti-reflection films by mist method onto the textured Si surfaces

Takuya Yamada¹, Syunichi Yabe¹, Yuto Suetugu¹, Ryosuke Watanabe¹, 〇Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:silicon solar cells,texture,titanium oxide

ミスト法により反射防止膜の形成を試み、製造工程の簡略化と低コスト化を目指す。また、テクスチャ化Si基板に成膜した場合の反射率低減の効果を検討した。