[14a-PB7-1~14] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials

[14a-PB7-13] Preparation and optical properties of anti-reflection films by spin coating onto textured Si surfaces

Takehiro Mariko¹, Takuya Yamada¹, Ryosuke Watanabe¹, 〇Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:silicon solar cells,texture,titanium oxide

テクスチャ化Si基板上にスピンコーティング法で成膜した場合、膜は凹み部分が厚く、凸部分が薄くなる膜厚の不均一性により反射防止効果は限定的である。本研究では複数回スピンコートにおいて、薄めたTiO₂原料溶液を用いて膜厚均一性を改善し、テクスチャ化Si基板上における反射防止膜の反射率低減を検討した。