[14a-PB7-1~14] 16 非晶質・微結晶

[14a-PB7-7] 硝酸酸化膜による結晶型シリコン太陽電池の高効率化

〇松本 健俊¹、中島 寛記¹、入鹿 大地¹、野中 啓章¹、今村 健太郎¹、小林 光¹ (1.阪大産研, CREST-JST)

キーワード：シリコン、太陽電池、硝酸

極薄硝酸酸化膜をSiN/Si界面に挿入する界面準位消滅型パッシベーションにより、p型およびn型結晶シリコン太陽電池の変換効率がそれぞれ17.2から18.9%および16.6から17.5%に向上した。熱酸化処理の追加により少数キャリアライフタイムが11μsから11msに大幅に向上した。SiN膜堆積時の界面保護やハイドープ層除去など、硝酸酸化法が太陽電池特性を向上させる様々なメカニズムについて討論する。