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[14p-1C-12] Thermodynamic analysis on the reduction process of chlorosilane gas by hydrogen radical
Keywords:hydrogen radical,solar grade silicon,reduction
シリコン太陽電池の原料である高純度シリコンはシーメンス法によって製造されるが、水素ラジカルによって収率を向上させることができる可能性がある。水素ラジカルという有限のライフタイムをもった種について、熱力学計算による反応の評価が可能であるかどうかを検討した結果について報告する