[14p-2A-1~17] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[14p-2A-17] ITO透明電極内の残留応力の半透明有機EL素子特性への影響

〇末森 浩司¹、渡邉 雄一¹、星野 聰¹、茨木 伸樹¹ (1.産総研)

キーワード：透明有機デバイス

有機薄膜上へ透明導電性酸化物電極を低ダメージで形成できるようになれば、有機ELや太陽電池などのデバイスの透明性を利用した高機能化を進めることができる。我々は有機薄膜上に形成された透明電極膜の残留応力が、シースルー有機デバイスの特性を大きく左右することを明らかにしたので報告する。