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[14p-2F-9] Pulse broadening of femtosecond laser pulses in diffractive lenses
Keywords:femtosecond laser pulse,diffractive optics
高スループットのナノマイクロ加工技術への応用が期待されるビームアレイ作成に使用する回折レンズによるフェムト秒レーザーパルスの集光特性をモデル計算とフリンジ分解自己相関の配置を利用した実験装置による計測の両側面から調べた結果を報告する。