[14p-2F-1~14] 3.7 レーザープロセシング

[14p-2F-9] 回折レンズによるフェムト秒レーザーパルスのパルス幅伸張の評価

〇中野 秀俊¹、菅野 貴行¹、小林 誠也¹、尼子 淳¹ (1.東洋大理工)

キーワード：フェムト秒レーザーパルス、回折光学素子

高スループットのナノマイクロ加工技術への応用が期待されるビームアレイ作成に使用する回折レンズによるフェムト秒レーザーパルスの集光特性をモデル計算とフリンジ分解自己相関の配置を利用した実験装置による計測の両側面から調べた結果を報告する。