[14p-2G-1~13] CS1 3.5 レーザー装置・材料,3.14 光制御デバイス・光ファイバーのコードシェアセッション

[14p-2G-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 接合イオンスライスLiNbO₃結晶におけるプロトン交換増速エッチングによるリッジ光導波路の作製・評価およびデバイス応用

〇田中 圭祐¹、栖原 敏明¹ (1.阪大院工)

キーワード：ニオブ酸リチウム、リッジ導波路、イオンスライス

高屈折率差薄膜結晶リッジ導波路は従来のTi拡散導波路やAPE導波路と比較してはるかに強い光閉じ込めを可能にする．本研究では低損失強閉じ込め導波路の有効な作製法として，LiNbO₃結晶のLi⁺⇔H⁺プロトン交換部において化学的エッチング速度が増加するプロトン交換増速エッチング法をイオンスライス結晶に適用し，断面積1.0×0.7 μm²の微細リッジ導波路を作製し，光波長1.55μmにおいて非常に強い閉じ込めを得た．