2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.1 バルク結晶成長

[14p-2K-1~17] 15.1 バルク結晶成長

2015年9月14日(月) 13:45 〜 18:15 2K (225)

座長:荻野 拓(東大),鎌田 圭(東北大)

17:30 〜 17:45

[14p-2K-15] IR-FZ法による結晶育成における結晶形状と溶融帯形状の関係

〇綿打 敏司1,2、ホサイン エムディームクタール1、長尾 雅則1、田中 功1 (1.山梨大院クリスタル研、2.JSTさきがけ)

キーワード:融液成長、帯溶融

IR-FZ法によるシリコン結晶育成では、育成条件によって育成形状が円筒状になったり、スパイラル状となったりすることを報告してきた。本研究では、その要因を調べるため、育成形状が円筒状となる育成条件とスパイラル状となる育成条件の溶融帯形状について調べた。その結果、育成結晶の形状がスパイラル状となる条件に近づくほど溶融帯形状が非対称になることがわかった。