[14p-2M-1~22] 13.10 化合物太陽電池

[14p-2M-22] 電気化学堆積Cu_xZn_yS薄膜の安定性評価

〇トン バインガルディ¹、市村 正也¹ (1.名工大)

キーワード：半導体、薄膜太陽電池、CuZnS

本研究では電気化学堆積法によりCu_xZn_yS薄膜を作製し、硫黄雰囲気でのアニールによる特性の変化を調べた。アニール前の試料はアモルファスであった。400℃、1hのアニール後には、ZnS相の観察ができた。アニール前はp型の伝導性を示したが、400℃アニール後は明確にはp型伝導性を示さなくなった。よって、Cu_xZn_ySは準安定な相で、アニールによりZnSとCuを含む相に分離すると考えられる。