2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

9 応用物性 » 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14p-2Q-1~16] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

2015年9月14日(月) 14:00 〜 18:15 2Q (231-1)

座長:秋山 亨(三重大),深田 直樹(NIMS)

15:45 〜 16:00

[14p-2Q-8] 自己形成法を用いた、ナノメートル領域のボトムアップ法とマイクロメートル領域のトップダウン法との架橋技術の構築

〇章 国強1,2、滝口 雅人1,2、舘野 功太1,2、後藤 秀樹1 (1.NTT 物性研、2.NTT NPC)

キーワード:半導体、ナノワイヤ、自己組織化

This work presents a method that bridges the gap between the nanometer-scale bottom-up and micrometer-scale top-down approaches for site-defined InP/InAs heterostructure NWs, which has long been a significant challenge for applications that require low-cost and high-throughput manufacturing processes.