[14p-2S-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[14p-2S-1] PのCat -dopingを施したa-Si 膜に対する活性化アニール

〇瀬戸 純一^1,2、大平 圭介^1,2、松村 英樹^1,2 (1.北陸先端大、2.JST CREST)

キーワード：活性化アニール、非晶質シリコン