[14p-2S-1~13] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [14p-2S-11] Influence of hydrogen plasma treatment on defect density and carrier lifetime of poly silicon nanowire

〇Shinya Kato¹, Tatsuya Yamazaki², Yasuyoshi Kurokawa³, Shinsuke Miyajima², Makoto Konagai^1,4 (1.JST, 2.Graduate School of Science and Engineering, Tokyo tech, 3.Graduate School of Engineering, Nagoya Univ, 4.Advanced Research Laboratory, Tokyo City Univ)

Keywords:poly crystalline silicon nanowire,Hydrogen plasma treatment,passivaiton

シリコンナノワイヤ薄膜は光閉じ込め効果を有するため、太陽電池の薄膜化が期待できる。これまでに、多結晶シリコンナノワイヤ薄膜を作製し、その光学特性やキャリアライフタイムの評価に成功してきた。本研究では、更なるキャリアライフタイムの向上のため水素化処理を行い、欠陥密度の低減を試みた。