[14p-2S-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [14p-2S-11] 水素プラズマ処理による多結晶シリコンナノワイヤ薄膜の欠陥密度とキャリアライフタイムへの影響

〇加藤 慎也¹、山崎 竜也²、黒川 康良³、宮島 晋介²、小長井 誠^1,4 (1.科学技術振興機構、2.東工大院理、3.名大院工、4.東京都市大学総研)

キーワード：多結晶シリコンナノワイヤ、水素プラズマ処理、パッシベーション

シリコンナノワイヤ薄膜は光閉じ込め効果を有するため、太陽電池の薄膜化が期待できる。これまでに、多結晶シリコンナノワイヤ薄膜を作製し、その光学特性やキャリアライフタイムの評価に成功してきた。本研究では、更なるキャリアライフタイムの向上のため水素化処理を行い、欠陥密度の低減を試みた。