[14p-2T-1~14] 17.1 Growth technology

[14p-2T-1] [Young Scientist Presentation Award Speech] Direct Synthesis of Graphene on Polymer Films and its Device Applications

〇Yusuke Ishibashi¹, Yasushi Kanai¹, Ohno Yasuhide^1,2, Kenzo Maehashi^1,3, Koichi Inoue¹, Kazuhiko Matsumoto¹ (1.ISIR, Osaka Univ., 2.Tokushima Univ., 3.TUAT)

Keywords:graphene,Strain sensor

レーザ照射法により炭素源を新たに必要としないPEN基板上にグラフェンの直接合成を行い、フレキシブルセンサへの応用を試みた。PEN基板上に触媒金属としてNiを堆積させ、レーザを連続照射した。ラマンスペクトルからグラフェンが合成されたことが明らかになった。次にNiで配線した回路上にレーザを照射し、グラフェン歪みセンサを作製した。凹方向の曲げを繰り返し加えた際の抵抗変化を確認した。