[14p-2T-1~14] 17.1 成長技術

[14p-2T-1] [講演奨励賞受賞記念講演] ポリマーフィルム上のグラフェン直接合成とフレキシブルデバイス応用

〇石橋 祐輔¹、金井 康¹、大野 恭秀^1,2、前橋 兼三^1,3、井上 恒一¹、松本 和彦¹ (1.阪大産研、2.徳島大、3.東京農工大)

キーワード：グラフェン、歪みセンサ

レーザ照射法により炭素源を新たに必要としないPEN基板上にグラフェンの直接合成を行い、フレキシブルセンサへの応用を試みた。PEN基板上に触媒金属としてNiを堆積させ、レーザを連続照射した。ラマンスペクトルからグラフェンが合成されたことが明らかになった。次にNiで配線した回路上にレーザを照射し、グラフェン歪みセンサを作製した。凹方向の曲げを繰り返し加えた際の抵抗変化を確認した。