[14p-2T-1~14] 17.1 Growth technology

[14p-2T-13] Observing Graphene Growth on copper-indium alloy with in-situ SEM

〇Yudai Hoshi¹, Junro Takahashi¹, Hiroki Kato¹, Yoshikazu Homma¹ (1.Tokyo Univ. of Science)

Keywords:graphene,in-situ,SEM

これまでグラフェンの化学気相成長の研究が多数報告されてきた。しかし、その成長メカニズムは未解明な点が多い。その解明のためには成長過程を観察することが有効である。今回は広い視野をもっていて、十分にグラフェンの成長過程を追うことができる走査電子顕微鏡（SEM）のチャンバー内で試料を通電加熱させながら炭素源ガスを流すことで、大気にさらさずに連続してグラフェンの成長過程を観察すること（その場SEM）に成功した。