[14p-2T-1~14] 17.1 Growth technology

[14p-2T-9] Synthesis of multilayer Graphene by Thermal CVD and Microwave Surface Wave Plasma CVD combination

〇(PC)Susumu Ichimura^1,2, Hideo Uchida¹, Koichi Wakita¹, Yasuhiko Hayashi², Masayoshi Umeno¹ (1.Chubu Univ., 2.Okayama Univ.)

Keywords:graphene,Microwave Surface Wave Plasma CVD,Thermal CVD

我々は、マイクロ波表面波プラズマCVDでグラフェン 成長する上で、プラズマによる紫外光をカットする事で品質向上する事を報告してきた。本研究では、熱CVDでグラフェンの種結晶を予め成長させておき、紫外光カット 状態でマイクロ波表面波プラズマCVDによるグラフェンの追加成長で、高品質多層グラフェン合成を試みた。